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2016年,日立高新公司推出第一臺大氣壓下掃描電子顯微鏡AeroSurf1500,其獨特的設計可在大氣壓下得到清晰的掃描電子圖像。

FlexSEM1000是日立高新公司新推出的一款機型小巧性能優異的鎢燈絲電鏡,擁有大束流和低球差的物鏡和聚光鏡設計,配備了高分辨率二次電子探頭及高靈敏度五分割背散射探頭,具有卓越的低真空成像能量,并且采用新的SEM MAP高精度導航系統及新全的自動化功能,使性能更加優越,使用更加簡便。

掃描電鏡(SEM)是介于透射電鏡和光學顯微鏡之間的一種微觀形貌觀察手段,可直接利用樣品表面材料的物質性能進行微觀成像。掃描電鏡的優點是,①有較高的放大倍數,2-20萬倍之間連續可調;②有很大的景深,視野大,成像富有立體感,可直接觀察各種試樣凹凸不平表面的細微結構;③試樣制備簡單。 目前的掃描電鏡都配有X射線能譜儀裝置,這樣可以同時進行顯微組織形貌的觀察和微區成分分析,因此它是當今十分有用的科學研究儀器。

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