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能量色散X射線熒光光譜儀由X射線光管、樣品室、準直器、探測器及技術電路和計算機組成。此外，亦可在樣品前加一單色器，達到降低背景的目的，以改善色散X射線熒光光譜儀的檢出限。它與波長色散X射線熒光光譜儀的顯著不同是分光晶體，而是直接用能量探測器來分辨特征譜線，達到定性和定量分析的目的。
ROHS檢測儀就是X射線熒光光譜儀，其分析原理也就是X射線熒光光譜儀的分析原理。X射線熒光光譜儀通常可分為兩大類，波長色散X射線熒光光譜儀(WDXRF)和能量色散X射線熒光光譜儀(EDXRF)，波長色散光譜儀主要部件包括激發源、分光晶體和測角儀、探測器等，而能量色散光譜儀則只需激發源和探測器和相關電子與控制部件，相對簡單。相對應的X射線熒光光譜儀有：手持式ROHS分析儀斯派克臺式小焦點X射線熒光光譜儀
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