CPAES (Inductively Coupled Plasma atomic emission spectrometry)電感耦合等離子體原子發射光譜儀，ICP-AES等離子體發射光譜儀是近三十年迅速發展的一種十分理想的痕量元素分析儀器.它基于物質在高頻電磁場所形成的高溫等離子體中,有良好特征譜線發射,進而實現對不同元素的測定.它具有檢出限極低、重現性好，分析元素多等顯著特點。附特殊裝置還可以實現更多非金屬元素的測量。

ICPOES(Inductively Coupled Plasma Optical Emission Spectrometer ) 電感耦合等離子體發射光譜儀，現在的稱呼。因為現在icp發射光譜技術用到了越來越多的離子線，"原子發射光譜儀"已經不是那么科學，所以現在都叫oes了。ICPOES可同時分析常量和痕量組分，無需繁復的雙向觀測，還能同時讀出、無任何譜線缺失的全譜直讀等離子體發射光譜儀,快速、線性范圍寬等優點。

ICPMS(Inductively Coupled Plasma mass spectrometry) 電感耦合等離子體質譜儀，ICP-MS是一個以質譜儀作為檢測器的等離子體，ICP-AES和ICP-MS的進樣部分及等離子體是極其相似的。ICP-AES測量的是光學光譜（120nm～800nm），ICP-MS測量的是離子質譜，提供在3～250amu范圍內每一個原子質量單位（amu）的信息。還可測量同位素測定。尤其是其檢出限給人極深刻的印象，其溶液的檢出限大部份為ppt級，石墨爐AAS的檢出限為亞ppb級，ICP-AES大部份元素的檢出限為1～10ppb，一些元素也可得到亞ppb級的檢出限。但由于ICP-MS的耐鹽量較差，ICP-MS的檢出限實際上會變差多達50倍，一些輕元素（如S、Ca、Fe、K、Se）在ICP-MS中有嚴重的干擾，其實際檢出限也很差。