ROHS檢測儀就是X射線熒光光譜儀，其分析原理也就是X射線熒光光譜儀的分析原理。
X射線熒光光譜儀通常可分為兩大類，波長色散X射線熒光光譜儀(WDXRF)和能量色散X射線熒光光譜儀(EDXRF)，波長色散光譜儀主要部件包括激發源、分光晶體和測角儀、探測器等，而能量色散光譜儀則只需激發源和探測器和相關電子與控制部件，相對簡單。
相對應的X射線熒光光譜儀有：
手持式ROHS分析儀
斯派克臺式小焦點X射線熒光光譜儀
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