原理

X熒光經晶體分光，在不同行射角測量不同元素的特征線

X熒光直接進入檢測器，經電子學系統處理得到不同元素(不同能量)的X熒光能譜

結構

為滿足全波段需要，配置多塊晶體，根據單道掃描和多道同時測定的需要，設置掃描機構和若干固定通道

無掃描機構，只用一個檢測器和多道脈沖分析器，結構簡單得多，無轉動件，可靠性高

X-光管

高功率，要高容量冷卻系統，管壽命短

低功率，不需冷卻水，管壽命水

檢測器

正比計數器，和λ、晶體、檢測器有關

Si(Li)，用LN冷卻

靈敏度

μg/g級

輕基體μg/g級，其它10~10²μg/g級

準確度

取決于標樣

取決于標樣

精密度

很好

低濃度時不如WD

系統穩定性

需作周期性漂移校正，定期作工作曲線

好，工作曲線可長時間使用

方便性

一般

好

分析速度

單道慢，多道快

快

人員要求

較高

一般

樣品表面

要求平坦

要求不高

價格

價格貴

價格便宜，適用中小企業

測定元素范圍

Z≥5B-U

Z≥11，Na-U，特殊薄窗時可Z≥8，O-U